যে অণুবীক্ষণ যন্ত্রে ইলেক্ট্রন তরঙ্গকে ব্যবহার করে ছোট বস্তুকে বিবর্ধিত করে দেখা হয়, সেটাই হলো ইলেকট্রন অণুবীক্ষণ যন্ত্র।